Dadin Mahmudin, Dicky,Dedi, Iip Syarif H
Abstrak
Berdasarkan hasil pengkajian berbagai komponen optik, diketahui bahwa material polymer akan menjadi bahan dasar untuk komponen optik berbasis waveguide untuk integtated optical device karena memiliki keunggulan; murah, fabrikasinya mudah, memungkinkan interkoneksi optik dan elektronik dalam satu substrat, high speed (100 GHz) dan low voltage driven. Pada penelitian ini, telah dilakukan pelapisan polimer di atas substrat silikon wafer single polish menggunakan metoda wet etching dengan kecepatan 5000 rpm Dari hasil pengukuran dengan elipsometer diperoleh indeks refraksi sebesar 1.73. Pengukuran ketebalan dengan jarum ukur menunjukkan bahwa semakin tinggi kecepatan putar, maka ketebalan lapisan polymer yang dihasilkan akan semakin tipis dan permukaannya semakin rata. Pola-pola waveguide untuk masing-masing struktur, yang dihasilkan setelah proses wet etching, dapat diamati dengan menggunakan mikroskop optik. Dengan waktu exposure selama 60 detik, hasil pengamatan menunjukkan bahwa waveguide dengan lebar 200 mm terpola cukup baik, dibandingkan waveguide dengan lebar 50 mm..
Kata Kunci : material, polimer , polyimide, optical waveguide
Tidak ada komentar:
Posting Komentar